アニールする材料と特定の用途の要求に応じて、さまざまな炉タイプがプロセスに使用される場合があります。以下にいくつかの例を示します。
金属やその他の材料のアニールによく使用されるオーブンはボックス炉です。炉はセラミックや耐火レンガなどの高温に耐える材料で作られており、箱に似ています。ボックス炉は、空気、窒素、水素などを含むさまざまな雰囲気中で、電気抵抗素子、ガスバーナー、または石油燃焼バーナーによって加熱できます。
連続炉: 連続炉は、大量のアニーリングが必要な大規模な工業プロセスで利用できます。この種の炉でアニールされる材料は、高いスループットと信頼性の高い温度制御を提供できる長い連続加熱ゾーンを通過します。
真空炉: 真空炉は、汚染や酸化の影響を受けやすい材料をアニールするために使用できます。この種の炉は、真空または減圧環境で動作しながら、アニール温度と環境を正確に管理できます。
マッフル炉: マッフル炉は、焼きなましを受ける材料が「マッフル」として知られる別の部屋に収容される一種の箱型炉です。この設計の 2 つの利点は、アニーリング環境の制御の向上と、炉内で使用される燃料燃焼生成物による汚染の防止です。
一般的に、次のような種類があります。炉アニーリングに使用されるものは、アニーリングされる材料、アニーリングされる材料の望ましい品質、および特定の用途のニーズによって異なります。
